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化学品供液系统
部件定制
 
 
SPMC的生产车间宽敞,布局合理,有1600平米加工制造车间、高精度的CNC加工中心、大尺寸雕刻机;200平米千级和万级的洁净室;配备洁净空气、氮气及去离子水;208伏和308伏的三相电压;配套了先进的进口焊接、剪裁、测试及装配工具。
 
 
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  化学品供液系统

化学品供液系统
CDS系统被设计用于安全地向晶圆制程提供容量为200升超高纯度化学药品。采用计算机可编程逻辑控制系统采 样和监控供应泵和阀门的工作状态,实现系统自动运行而无需人工干预。操作员只需将化学品原料桶装入原料仓,通 过触摸屏上的按钮即可使系统按预设的程序自动运行,从而最大程度减少了操作人员与化学药品接触的机会,一方面 加强了人身安全,另一方面避免外界杂质进入使化学品受到污染。设备维护人员可以进入手动控制模式对设备的每一 个单元进行控制。系统中完善的报警电路,一旦出现故障可以通知操作人员并关闭故障单元甚至关闭整个系统。
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